上海伯东真空产品事业部搬迁通知

adnano 铠柏电子束蒸镀设备

上海伯东代理铠柏科技制造的超导结制备用电子束蒸镀设备, 铠柏镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 提供各种类型的 mbe, e-beam, sputter, ibe. 提供客制化设备, 擅长各种类型系统的集成.

电子束蒸发镀膜机 e-beam

 ebs-150
 真空度 5e-8 torr, 最大 8inch 样品

电子束蒸发

 ebs-150 uhv
 真空度 5e-10 torr, 最大 6inch 样品

 ebs-300 dual
 真空度 5e-7 torr, 双 e-gun

磁控溅射镀膜机 sputter

sputter 16
真空度 2e-10 torr

磁控溅射镀膜机

sputter 24
真空度 5e-10 torr

离子刻蚀 ibe

 ibe
 真空度 5e-10 torr, 离子源 rficp 100

离子蚀刻 ibe

 ibe
 真空度 5e-10 torr , 离子源 kdc 75

分子束外延 mbe-10

分子束外延设备在长二维材料以及拓扑材料, 氧化物方面都有不错的性能. 如: iii-v 族, ii-vi 族, si / sige, 金属与金属氧化物 (因为有独步全球的激光加热器, 可到 2英寸), 以及 gan, aln, algan, ingan, algainn, cigs, oled 等.

mbe-10

分子束外延 mbe-8

mbe-8 可以成长三寸以下的样品, 样品温度可以加到 900 摄氏度, 如果是两寸以下的样品可以到 1100 摄氏度. 可以装置 8个束源炉, 最大容量 40cc

分子束外延 mbe

脉冲激光沉积 pld-18l

脉冲激光沉积设备 pld-18l, 它可以与溅射枪, 积液池, 高压流变, 激光束控制相结合,可以放置 8×1 英寸的样品或 4×2 英寸的样品,

脉冲激光沉积 pld-18l

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