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考夫曼离子源 rficp 380
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考夫曼离子源 rficp 380

考夫曼离子源 rficp 380 特性:
1. 放电腔 discharge chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.
   2kw & 1.8 mhz, 射频自动匹配
2. 离子源结构模块化设计
3. 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
4. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用
5. 中和器 neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性
6. 通气 ar, o2, n2, others
7. 离子束流: 电流: > 500毫安, 能量 100-1200ev
考夫曼离子源 rficp 380 技术参数

型号

rficp 380

放电腔 discharge

射频

最大功率

>1kw

最大离子束电流

>1000ma

电压

100-1500v

气体

惰性和活性

流量

5-50sccm

真空度

< 0.5mtorr

离子光学(自适应)

optibeamtm

离子束直径@ grids

38cm φ (maximum)

栅极材质

离子束形状

平行. 聚焦, 发散

中和器

lfn 2000

高度

15” (38.1cm)

直径

22.9” (58.2cm)

feedthrough direct

12”cf

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